高壓電源用途很多，主要包括了X光機高壓電源，激光高壓電源，光譜分析高壓電源，無損探傷高壓電源，半導體制造設(shè)備高壓電源，毛細管電泳高壓電源，無損檢測高壓電源，半導體技術(shù)中的粒子注入高壓電源、物理汽相沉積高壓電源(PVD),納米光刻高壓電源，用于離子束沉積、離子束輔助沉積、電子束蒸發(fā)、電子束焊接、離子源、直流磁控反應(yīng)濺射、玻璃/織物鍍膜、輝光放電、微波處理高壓電容測試、CRT顯示器測試、高壓電纜故障測試（PD testing）、TWT測試、H-POT測試。

高壓電源，又名高壓發(fā)生器，一般是指輸出電壓在五千伏特以上的電源，一般高壓電源的輸出電壓可達幾萬伏，甚至高達幾十萬伏特或更高。